لایه نشانی و تعیین خواص نوری نیترید سیلیسیم در محیط های آرگن و نیتروژن

Authors

  • A. Khodayari Mechanical Engineering, K. N. Toosi University of Technology
Abstract:

�لایه های نازک نیترید سیلیکون برروی زیرلایه بس کریستال سیلیکون و شیشه نازک بااستفاده از روش کندوپاش RF لایه نشانی شده اند. لایه نشانی یک بار در محیط گاز آرگن و بار دیگر در محیط گاز نیتروژن انجام شده� است. با تغییر توان لایه نشانی نسبت نیتروژن و سیلیکون موجود در لایه تغییرمی کند و لایه هایی با خواص نوری متفاوت به دست می آید. تأثیرات ناشی از تغییرات توان RF برروی خواص نوری و ترکیبات موجود در لایه ها بررسی شده است نسبت سیلیکون به نیتروژن در ترکیب پوشش های ضد بازتاب نیترید سیلیکون بهینه و به کمک آنالیز RBS بررسی شده است. از آنالیز UV/VIS/IR برای بررسی خواص نوری این لایه ها استفاده شده است. لایه های نیترید سیلیکونی که در محیط آرگن با ضخامت �2000 و با توان بین 100 تا 150 وات لایه نشانی شده اند، درصد عبور نور بسیار بالای 92% (درحدود شفافیت شیشه های نازک) در طیف وسیع 300 تا nm1200 دارند. لایه های ضد بازتاب نیترید سیلیکون مذکور بازتاب سطح سلول های بس کریستال سیلیکون را از 12% به کمتر از 2% کاهش می دهند.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

تأثیر زمان لایه نشانی بر خواص ساختاری و فیزیکی پوشش های کربنی لایه نشانی شده با روش کندوپاش مگنترونی

full text

خواص ابرخازنی نیترید کربن گرافیتی لایه نشانی شده بر روی بستر نانوساختارهای متخلخل دی اکسید تیتانیوم احیا شده

در این مطالعه، نیترید کربن گرافیتی (g-C3N4) از چگالش گرمایی ملامین در دو دمای 450 و 550 درجه سانتیگراد ساخته شد. همچنین، الکترود نانوساختارهای متخلخل دی اکسید تیتانیوم (TiO2 NP) به عنوان بستر برای لایه نشانی g-C3N4 با روش آندیزاسیون بر روی فویل تیتانیوم (Ti) ساخته شد و سپس برای بهبود رسانندگی الکتریکی به روش الکتروشیمیایی احیا گردید. لایه ن...

full text

Degenerate Four Wave Mixing in Photonic Crystal Fibers

In this study, Four Wave Mixing (FWM) characteristics in photonic crystal fibers are investigated. The effect of channel spacing, phase mismatching, and fiber length on FWM efficiency have been studied. The variation of idler frequency which obtained by this technique with pumping and signal wavelengths has been discussed. The effect of fiber dispersion has been taken into account; we obtain th...

full text

ریخته‌گری ژلی نیترید سیلیسیم

این پژوهش با هدف ساخت بدنه‌های نیترید سیلیسیمی(Si3N4) به روش ریخته‌گری ژلی و بررسی عوامل موثر بر فرآیند انجام شد. دراین تحقیق دوغاب‌هایی با 70 درصد بار جامد از پودر نیترید سیلیسیم با دانه‌بندی کمتر از 3/0 میکرون و سیستم مونومری AM-MBAM با مقادیر مختلف تهیه شدند. در ادامه این دوغاب‌ها با افزودن کاتالیزور و آغازگر تحت عملیات ریخته‌گری در قالب پلیمری قرار گرفتند. قطعات پس از خروج از قالب خشک و سپ...

full text

بررسی اثر مقدار نیتروژن بر خصوصیات ساختاری ، فازی و مورفولوژی سطح لایه های نازک نیترید تنگستن

لایه های نیترید تنگستن با ساختاری بلوری به روش تبخیر شیمیایی و در غلظتهای مختلفی از گاز نیتروژن در ترکیب گازی آرگون و نیتروژن تولید شد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که غلظت نیتروژن در گاز ترکیبی تاثیر بسزایی روی ساختار، فازهای تشکیل شده، مورفولوژی سطح لایه ها و حتی اندازه دانه ها دارد. پراش اشعه ایکس، ساختار بلوری هگزاگونال WN را در نمونه های با غلظت کم نیتروژن )%10N2=، %30N2= و %50N2= (نشان می ...

full text

بررسی اثر زمان لایه نشانی بر خواص فیزیکی لایه های نازک N:ZnO

در این تحقیق لایه‌های نازک N:ZnO روی زیر لایه شیشه با استفاده از کندوپاش DC در فشار کاری Torr 2-10×2 در مخلوط گازهای آرگون و نیتروژن لایه نشانی شدند. ضخامت، ریخت‌شناسی، ساختار کریستالی و خواص اپتیکی لایه‌ها در سه زمان کندوپاش مختلف شناسایی شدند. با افزایش زمان لایه نشانی، ضخامت لایه‌ها، زبری سطح و ارتفاع دانه‌ها افزایش می‌یابد. لایه‌ها دارای بافت قوی کریستالی در راستای (002) با ساختار هگزاگونال...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


Journal title

volume 1  issue 2

pages  175- 182

publication date 2010-05-22

{@ msg @}

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023